檢索結果：共11筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and year="100"
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本研究為有機發光二極體(Organic Light-Emitting Diode, OLED)在製程封裝上應用低溫電漿輔助化學氣相沉積法(Plasma-Enhanced Chemical Vapor…
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隨著半導體製程技術的演進，銅已被廣泛作為內連線材料，由於具有較低的電阻率和較好的抗電致遷移能力。然而，銅與介電層存在著附著力的問題，且低溫下，銅便會與矽產生反應，此銅矽物在IC結構中，會造成元件失效…
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近年來，金屬玻璃或非晶金屬不僅用於塊材、粉末、線材及薄帶上，也在薄膜上有所研究，金屬玻璃薄膜(TFMGs)具有許多優異及獨特的性質，包括高強度、高韌性、耐磨損和耐腐蝕性，此外，於升溫加熱後，TFMG…
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本研究利用共濺鍍系統沉積出TaN(Cu)的混合薄膜，並使用電漿氧化的方式直接氧化下電極製作出中間電阻層，之後再沉積出TaN薄膜當作上電極，製備出TaN/Cu-TaOx/TaN(Cu)的MIM三層結構…
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本論文首先針對車用數位音訊廣播( Digital Audio Broadcasting, DAB )接收天線進行研發設計，提出一款可涵蓋世界各國使用之DAB band III (170-240ＭHz…
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統製作非晶矽薄膜太陽電池。實驗結果顯示當[TMB]/[SiH4]=3時成長的p+層在電池應用獲得Jsc=16.81 mV/cm2、Voc=854 mV、F.…
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近年來，許多人嘗試將奈米或微米球作為表面織構散射體以增加薄膜太陽能電池的轉換效率，然而散射體的尺寸及折射率等參數對散射效果的影響還未被充分瞭解。在本研究中，我們使用光線追跡 (Ray Tracing…
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本實驗使用溶膠-凝膠法於藍寶石（0001）基板上製備不同濃度鈉掺雜氧化鋅薄膜，並且於空氣及氬-氫混和氣氛下退火以獲得鈉掺雜之氧化鋅薄膜。所有的樣品皆利用X-ray繞射光譜、掃描式電子顯微鏡、原子力顯…
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Tungsten oxide, has many interesting optical, electrical, structural, and chemical properties, are …
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本研究以磁控濺鍍技術，製作出30-100nm的YSZ薄膜於矽基板、MgO、LaAlO3、LiNbO3和不鏽鋼上。薄膜的型態則以SEM、AFM觀察，結構為柱狀晶且其表面緻密且無孔洞，從XRD、Rama…